导航：X技术最新专利无机化学及其化合物制造及其合成,应用技术

　　1.本实用新型涉及抽真空系统，具体涉及一种能够高效率进行抽真空的装置，且使用该装置进行抽真空操作时能够防止湍流的产生。

　　2.传统工业用抽真空系统一般不设置细抽管或只设置一根细抽管。以晶体生长炉为例，如果没有细抽管，直接开启粗抽管的阀门时，由于炉腔内外压差过大，单位时间气体抽量大，炉腔内会瞬间形成气体湍流，冲击炉腔内部件，导致坩埚内原料或掺杂物质会被湍流带出坩埚，而炉腔内杂质却可能会被带入坩埚，破坏原有的工艺设计，影响晶体生长的质量，情况严重时还会损坏设备。

　　3.为了解决上述问题，在抽真空系统与炉腔之间安装一根细抽管，但会带来另外一个弊端：粗抽管道阀门的开启对腔体真空度要求的真空度高，以真空连成计为例，需要达到左右表示数均为-102kpa时，才能开启粗抽管道阀门，要达到这个真空度，一根细抽管的抽吸效率是很低的，尤其当需要生长大尺寸晶体时，炉膛的尺寸较大，细抽步骤完成的时间很长，这就降低了生产的时效性。此外，单一细抽管基本都需要手动开启/关闭阀门，增加了工作人员的操作量。

　　4.针对现有技术存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种高效防湍流抽真空系统，能够快速高效地完成容器抽真空的同时防止容器中产生湍流。

　　6.一种高效防湍流抽真空系统，包括：真空泵，粗抽阀，所述粗抽阀与待抽真空的腔体通过粗抽管连接，所述粗抽阀与所述真空泵通过第一管路连接，靠近所述腔体安装与所述粗抽管连通的真空连成计，若干细抽管将所述粗抽管和所述第一管路连通，每根所述细抽管上安装控制阀；其中，所述真空连成计用于监测所述腔体压力，所述细抽管直径小于所述粗抽管直径。

　　7.进一步，所有所述控制阀依次开启，与所述控制阀开启顺序对应的所述细抽管直径逐渐增大。

　　8.进一步，所述高效防湍流抽真空系统还包括连成计控制器，所述连成计控制器分别与所述真空连成计和所有所述控制阀电连接，其中，所述控制阀为真空电磁阀；所述连成计控制器用于根据所述真空连成计反馈的压力值控制所述控制阀开启或关闭。

　　9.进一步，所述高效防湍流抽真空系统还包括：高真空设备和高真空阀；所述粗抽阀为三通阀，所述三通阀的第一接口和第二接口分别与所述第一管路和所述粗抽管连接，所述三通阀第三接口与所述高真空设备通过第二管路连接，所述高真空设备与所述粗抽管通过高真空抽管连接，所述高真空抽管上安装所述高线.进一步，所述高效防湍流抽真空系统还包括过滤器，所述过滤器安装在所述细抽

　　管和所述第一管路连接端与所述线.本实用新型的高效防湍流抽真空系统，设置与粗抽管连通的若干细抽管，先开启细抽管上的控制阀，使用真空泵通过直径较小的细抽管抽吸待抽真空腔体中的气体，防止在腔体中形成湍流，设置的多根细抽管能够增加抽气效率；当腔体内气压达到可采用粗抽管抽真空的临界值时，关闭细抽管上的控制阀，开启粗抽阀，采用粗抽管对腔体抽真空，防止腔体中形成湍流的同时，充分利用粗抽管进行抽真空，保证腔体的抽线为本实用新型示例提供的高效防湍流抽真空系统结构组成示意图；

　　14.1—线—第一管路；5—线—第一控制阀；10—第二控制阀；11—第三控制阀；12—连成计控制器；13—高线—杂质颗粒；18-3—盖板。

　　15.为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的方案，下面结合本实用新型示例中的附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的示例仅仅是本实用新型的一部分示例，而不是全部的示例。基于本实用新型中的示例，本领域的普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下，所获得的所有其他实施方式都应当属于本实用新型保护的范围。

　　16.在本实用新型的描述中，术语“粗抽管”是指原有抽真空系统中带有的较大直径的抽真空管，其能够提供足够的抽气量，以便快速使炉腔等待抽真空容器的腔体压力值达到预定的真空状态。此外，术语“第一”、“第二”仅用于区别类似的对象，应该理解这样的使用在适当情况下可以互换。

　　17.传统的工业用抽真空系统，没有使用或者只设计了一根细抽管。直接使用粗抽管抽真空时会影响产品的生产工艺，即使不影响某些工业产品的生产工艺，腔体内气体湍流的出现也会对零部件产生冲击，在晶体生长炉中，腔体内的气体湍流会导致坩埚内原料（尤其是粉料）被气流带出，而杂质也很可能进入坩埚中污染原料。若只使用一根细抽管先抽腔体，可避免这种情况，但是效率低下。

　　18.为了解决上述问题，本实施方式提供了一种高效防湍流抽真空系统，包括：线与线连通的线连通，每根细抽管上安装控制阀；其中，线压力，细抽管直径小于粗抽管3直径。

　　19.第一管路4与细抽管采用波纹管连通，细抽管与直径较大的粗抽管3采用细钢管连通。

　　20.本示例的高效防湍流抽线连通的若干细抽管，先开启细抽管上的控制阀，使用真空泵通过直径较小的细抽管抽真空，防止在待抽线中形

　　成湍流，设置的多根细抽管能够增加抽气效率；当腔体内气压达到可采用粗抽管3抽真空的临界值时，关闭细抽管上的控制阀，开启粗抽阀2，采用粗抽管3对腔体18抽真空，防止腔体中形成湍流的同时，充分利用粗抽管3进行抽线的抽线.具体地，本实施方式以晶体生产炉的抽真空工艺为例介绍本示例的高效防湍流抽线根细抽管，即第一细抽管6、第二细抽管7和第三细抽管8，在该3根细抽管上分别安装第一控制阀9、第二控制阀10和第三控制阀11，第一控制阀9、第二控制阀10和第三控制阀11分别用于控制第一细抽管6、第二细抽管7和第三细抽管8的开启。晶体生产炉的腔体18内设置原料18-1，盖板18-3及位于盖板18-3上的杂质颗粒18-2。图中的箭头方向为气流方向。

　　22.在本示例中，第一控制阀9、第二控制阀10和第三控制阀11依次开启，当线开启一段时间后，打开第一控制阀9，采用第一细抽管6抽取腔体18中的气体，当腔体18内气压达到预设值a（例如-30kpa）时，打开细抽管2上的第二控制阀10，此时线中的气体，当腔体18内气压达到预设值b（例如-50kpa）时，打开第三控制阀11，此时线同时抽吸腔体18中的气体。其中，腔体18内气压可以通过线测出，本领域技术人员可以通过试验获取预设值a和预设值b，预设值a和预设值b的获取条件为开启下一根细抽管时不会在腔体18内形成湍流。在采用粗抽管3抽气之前，依次使用三根细抽管抽气，使得抽真空的效率比一直只有一根细抽管时大大提高，减少了腔体真空度达到开启粗抽条件的时间，增加了生产的时效性。

　　23.优选地，与第一控制阀9、第二控制阀10和第三控制阀11开启顺序对应的第一细抽管6、第二细抽管7和第三细抽管8直径逐渐增大，以便能够进一步提升使用粗抽管3抽吸前的抽气效率。

　　25.本示例的高效防湍流抽真空系统还包括连成计控制器12，连成计控制器12分别与线电连接，其中，第一控制阀9、第二控制阀10和第三控制阀11均为真空电磁阀；连成计控制器12用于根据线反馈的压力值控制第一控制阀9、第二控制阀10、第三控制阀11依次开启。连成计控制器12与线之间连接有电源线开启，采用第一细抽管6抽吸腔体18中的气体，当连成计控制器12接收到线反馈的压力值为预设值a，控制第二控制阀10开启，采用第一细抽管6和第二细抽管7同时抽吸腔体18中的气体，当连成计控制器12接收到线反馈的压力值为预设值b时，控制第三控制阀11开启，采用第一细抽管6、第二细抽管7和第三细抽管8同时抽吸腔体18中的气体。当腔体内18气压达到可使用粗抽管3抽吸的临界值时，连成计控制器12控制第一控制阀9、第二控制阀10和第三控制阀11关闭，同时，开启粗抽阀2，使用空气泵1通过粗抽管3抽吸腔体18中的气体。

　　27.本示例的高效防湍流抽真空系统还包括：高线为三通阀，三通阀的第一接口和第二接口分别与第一管路4和粗抽管3连接，三通阀第三接口与高线连接，高线通过高线连接，高

　　线需要达到更高的线完成粗抽后，连成计控制器12可以控制高线开启，采用高线完成抽高线.本示例的高效防湍流抽线，过滤器安装在细抽管和第一管路4连接端与线用于过滤抽气气体中的杂质。

　　30.本示例的高效防湍流抽真空系统采用三根细抽管的设计兼顾了真空时效与成本因素，为了达到最高真空时效在其他实施方式中也可以再适当增加细抽管数量，并且根据细抽管上控制阀的开启顺序递增细抽管的管径。

　　31.最后，可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的原理和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

　　1.探索新型氧化还原酶结构-功能关系，电催化反应机制 2.酶电催化导向的酶分子改造 3.纳米材料、生物功能多肽对酶-电极体系的影响4. 生物电化学传感和生物电合成体系的设计与应用。

　　1.高分子材料的共混与复合 2.涉及材料功能化及结构与性能的研究； 高分子热稳定剂的研发

　　1. 晶面可控氧化铝、碳基载体及催化剂等高性能、新结构催化材料研究 2. 乙烯环氧化催化剂的研究与开发 3. 低碳不饱和烯烃的选择性氧化催化剂及工业技术开发

　　1. 加氢精制 2. 选择加氢 3. 加氢脱氧 4. 介孔及介微孔分子筛合成及催化应用