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　　本技术涉及一种大腔体真空泵泵组系统，其包括腔体、粗抽真空泵机组、精抽真空泵组、管路组、开关阀组、压力传感器及控制装置，压力传感器设置于腔体上，粗抽真空泵机组、精抽真空泵组均通过管路组与腔体连接且相连通，粗抽真空泵机组与腔体之间设置开关阀组，控制装置电连接于压力传感器、粗抽真空泵机组、精抽真空泵组及开关阀组，控制装置根据压力传感器的数据控制粗抽真空泵机组、精抽真空泵组、开关阀组的开启和关闭。本技术通过不同形式泵组搭配与组合，提升工作效率，最大化地利用真空泵性能，使泵组在不同压力段稳定运行；控制器通过压力传感器的数据，控制不同阶段的机组运行，使机组运行达到最优，满足工艺压力需求，实现节能。

　　1、真空泵是获得真空环境的重要抽气设备，在不同领域的不同真空度要求下使用各种形式的真空泵或真空泵机组获得所需真空度，但在大腔体抽空环境中真空的获取，对真空泵性能、形式及系统配置更为严苛，需求合适的真空泵组及可靠的系统控制方式才能实现真空机组长期稳定运行。

　　2、目前市场上大腔体抽真空机组大多数是干式螺杆泵组、油封式或其他形式搭配罗茨泵使用，以上机组在粗真空段运行会存在以下几点风险及隐患：

　　3、(1)首先，使用干式螺杆泵泵组在粗真空段长时间运行，机组会因高负载，导致高温高电流，影响机组稳定运行；另外，螺杆机组因性能及结构限制，长时间在粗真空段运行效率低耗功高，影响腔体抽空时间，无法满足客户的技术要求，若要满足客户需求，必须通过增加真空泵台数来实现，这样就增加了客户的使用成本；

　　4、(2)其次，螺杆机组、油封式或其他形式真空泵搭配罗茨泵使用，在粗真空罗茨泵受耐压差限制，无法开启或以较低的频率运行，前级泵同样会发生以上高温高电流问题，且油封式线

　　1.一种大腔体真空泵泵组系统，其特征在于：其包括腔体、粗抽真空泵机组、精抽真空泵组、管路组、开关阀组、压力传感器及控制装置，所述压力传感器设置于所述腔体上，所述粗抽真空泵机组、所述精抽真空泵组均通过所述管路组与所述腔体连接且相连通，所述粗抽真空泵机组与所述腔体之间设置所述开关阀组，所述控制装置电连接于所述压力传感器、所述粗抽真空泵机组、所述精抽真空泵组及所述开关阀组，所述控制装置根据所述压力传感器的数据控制所述粗抽真空泵机组、所述精抽真空泵组、所述开关阀组的开启和关闭。

　　2.如权利要求1所述的大腔体真空泵泵组系统，其特征在于：所述管路组包括精抽管路和粗抽管路，所述粗抽管路设置

　　1.一种大腔体真空泵泵组系统，其特征在于：其包括腔体、粗抽真空泵机组、精抽真空泵组、管路组、开关阀组、压力传感器及控制装置，所述压力传感器设置于所述腔体上，所述粗抽真空泵机组、所述精抽真空泵组均通过所述管路组与所述腔体连接且相连通，所述粗抽真空泵机组与所述腔体之间设置所述开关阀组，所述控制装置电连接于所述压力传感器、所述粗抽真空泵机组、所述精抽真空泵组及所述开关阀组，所述控制装置根据所述压力传感器的数据控制所述粗抽真空泵机组、所述精抽真空泵组、所述开关阀组的开启和关闭。

　　2.如权利要求1所述的大腔体真空泵泵组系统，其特征在于：所述管路组包括精抽管路和粗抽管路，所述粗抽管路设置于所述粗抽真空泵机组与所述腔体之间，所述精抽管路设置于所述精抽真空泵组与所述腔体之间。

　　3.如权利要求2所述的大腔体真空泵泵组系统，其特征在于：所述粗抽真空泵机组包括多个粗抽真空泵，所述开关阀组包括多个第一开关阀和多个第二开关阀，所述粗抽管路包括多个第一管路和多个第二管路，多个所述粗抽真空泵的抽气端分别通过所述第一管路和所述腔体连接且相连通，多个所述粗抽真空泵的排气端上分别设置所述第二管路，各所述第一管路上均分别设置有至少一个所述第一开关阀，各所述第二管路上均分别设置有至少一个所述第二开关阀。

　　4.如权利要求3所述的大腔体真空泵泵组系统，其特征在于：多个所述粗抽真空泵并列设置，所述开关阀组还包括多个第三开关阀，所述粗抽管路还包括多个第三管路，沿着并列设置的方向，在相邻的两个所述粗抽真空泵之间，前一个所述粗抽真空泵的所述第二管路与后一个所述粗抽真空泵的所述第一管路之间通过所述第三管路连接且相连通，多个所述第三管路上分别至少设置一个...