(19)国家知识产权局(12)实用新型专利(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 1.6(22)申请日 2022.03.02(73)专利权人 四川奇峰景行光学科技有限公司地址 620866 四川省眉山市彭山区青龙镇龙都大道西段599号附1号(经济开发区)(72)发明人 刘景峰(74)专利代理机构 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003专利代理师 耿昕(51)Int.Cl.C30B 35/00 (2006.01) (54)实用新型名称一种高效防湍流抽线)摘要本实用新型公开了一种高效防湍流抽真空系统，包括：真空泵，粗抽阀，粗抽阀与待抽真空的腔体通过粗抽管连接，粗抽阀与真空泵通过第一管...

　　(19)国家知识产权局(12)实用新型专利(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 1.6(22)申请日 2022.03.02(73)专利权人 四川奇峰景行光学科技有限公司地址 620866 四川省眉山市彭山区青龙镇龙都大道西段599号附1号(经济开发区)(72)发明人 刘景峰(74)专利代理机构 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003专利代理师 耿昕(51)Int.Cl.C30B 35/00 (2006.01) (54)实用新型名称一种高效防湍流抽线)摘要本实用新型公开了一种高效防湍流抽真空系统，包括：真空泵，粗抽阀，粗抽阀与待抽真空的腔体通过粗抽管连接，粗抽阀与真空泵通过第一管路连接，靠近腔体安装与粗抽管连通的真空连成计，若干细抽管将粗抽管和第一管路连通，每根细抽管上安装控制阀；其中，真空连成计用于监测腔体压力，细抽管直径小于粗抽管直径。使用高效防湍流抽真空系统时，先开启细抽管上的控制阀，通过直径较小的细抽管抽真空，防止在待抽真空的腔体中形成湍流，多根细抽管依次开启能够增加抽气效率；当腔体内气压达到可使用粗抽管的临界值时，关闭控制阀，开启粗抽阀，采用粗抽管对腔体抽真空，防止腔体中形成湍流的同时，充分利用粗抽管进行抽真空，保证腔体的抽线CN 216998667 U